Технологическое и контрольно-измерительное оборудование для производства микросхем и п/п приборов

Михаил Георгиевич Бирюков

Интервью с модераторами секции «Технологическое и контрольно-измерительное оборудование для производства микросхем и п/п приборов» форума «Микроэлектроника-2019» Михаилом Георгиевичем Бирюковым и Алексеем Николаевичем Алексеевым.

Ваша секция одна из самых «молодых» на форуме. Расскажите, пожалуйста, как и почему она образовалась? В чём Вы видите основную часть работы секции?

А.А.: Секция действительно существует совсем недавно. Организаторы форума приняли решение о включении новой секции в состав конференции в 2015 году во время разработки второго этапа Государственной программы «Развитие электронной и радиоэлектронной zпромышленности на 2013–2025 годы». Форум «Микроэлектроника», таким образом, впервые объединил представителей всей цепочки создания ЭКБ – от базовых материалов, технологий и оборудования до дизайн-центров, микроэлектронных производств и фаундри. С моей точки зрения, это решение позволило форуму стать ключевой российской площадкой, позволяющей всем игрокам отрасли обсуждать насущные проблемы и предлагать комплексные решения по дальнейшему комплексному развитию радиоэлектронной отрасли.

Что касается работы секции, то, прежде всего, она направлена на демонстрацию перспективных разработок и научно-технического потенциала производителей СТО и контрольно-измерительного оборудования, а также анализ возможностей для дальнейшего развития отрасли, в т. ч. поиск наиболее перспективных точек роста. На протяжении длительного времени производители технологического оборудования для ЭКБ были, можно сказать, «на втором плане». Площадка Форума даёт возможность представителям российского электронного машиностроения не только заявить о себе, но и убедить производителей ЭКБ в преимуществах кооперации с отечественными производителями оборудования.

М.Г.: На сегодняшний момент возникла потребность в создании данной секции, где на базе мирового и лучшего отечественного опыта рассматривается проблематика исследований, разработки и создания технологического и контрольно-измерительного оборудования.

Главным образом мы предлагаем компаниям выступить с новыми идеями по дальнейшему развитию этого направления, определяем наличие компетенций, а также перспективы и проблемы данной отрасли.

Поступили ли уже первые заявки? Каким вопросам посвящены тезисы? Исходя из них, можно ли ожидать новых актуальных или даже прорывных докладов в этом году?

А.А.: Заявки действительно уже начали поступать, хотя из-за сезона отпусков ещё не так активно, как хотелось бы. В связи с этим говорить о наличии прорывных докладов ещё преждевременно, многие потенциальные докладчики пока не представили свои тезисы. Однако мы с Михаилом Георгиевичем надеемся, что в результате будут отобраны действительно интересные сообщения, которые приведут к дальнейшему развитию взаимовыгодных отношений разработчиков оборудования и производителей ЭКБ.

М.Г.: Полученные тезисы, в частности, посвящены вопросам изготовления СВЧ ЭКБ на основе GaN- и GaAs-технологий; вопросам развития измерений параметров СВЧ-устройств и инжинирингу. Все вышеперечисленные работы актуальны, а также имеют большой потенциал для дальнейшего применения на производственных предприятиях. На форуме сами участники смогут дать оценку новизне и практической значимости заявленных докладов.

Расскажите, пожалуйста, что происходит в сфере технологического и контрольно-измерительного оборудования для производства микросхем и п/п-приборов в нашей стране. Каких результатов удалось достичь отечественным производителям?

А.А.: Ситуация на рынке постепенно восстанавливается после заметного падения продаж СТО в 2015–2016 гг. К покупателям оборудования постепенно приходит понимание, что ориентация на отечественную продукцию имеет ряд преимуществ. В частности, я имею в виду постоянно усиливающиеся международные санкции. Прежде чем безапелляционно, как бывало ранее, закупать зарубежное СТО, производители ЭКБ стали более внимательно оценивать отечественные аналоги. Это очень важное, можно сказать, структурное изменение ситуации. Наша задача, в т. ч. используя площадку форума, эту ситуацию развивать, доказывая своими разработками и достижениями конкурентоспособность продукции российских производителей СТО относительно зарубежных аналогов.

М.Г.: Необходимо признать, что сегодня действует ряд разрозненных научных институтов и предприятий, которые сохранили отдельные компетенции в области разработки и производства специального технологического оборудования. Часть из них успешно разрабатывает и серийно выпускает образцы относительно современного оборудования, которое, однако, не позволяет говорить о полной импортонезависимости и не позволяет отечественным производителям и разработчикам ЭКБ реализовать в полном объёме перспективные планы развития отрасли. Вместе с тем объективно в РФ накоплен определённый научно-технический задел в области ключевых направлений разработки и производства технологического оборудования. Например, в ОАО «НИИТМ» в этом году удалось выйти на производство оборудования для обработки пластин диаметром 300 мм, совсем недавно прошли первые успешные поставки оборудования заказчику.

Как Вы считаете, в чём состоит актуальность и польза форума и подобных ему мероприятий?

А.А.: Ценность любого отраслевого мероприятия, как я уже отмечал, в общении, обмене опытом и поиске возможностей для взаимодействия и кооперации. Именно налаживание эффективных горизонтальных связей позволяет отрасли развиваться, повышать свою конкурентоспособность и не концентрироваться в замкнутых вертикально интегрированных структурах. Кроме того, личное общение с коллегами в прекрасной деловой атмосфере форума даёт наилучшее представление о текущих тенденциях, проблемах и ситуации в отрасли.

М.Г.: Подобные мероприятия позволяют, прежде всего, определить основные тренды, создать конструктивный диалог специалистов различных направлений и разных поколений микроэлектронной отрасли, встретиться лицом к лицу и создать более продуктивные алгоритмы взаимодействия всем участникам рынка – от разработчиков до производителей и дистрибьюторов.

В этом году пройдет 5-й, юбилейный форум «Микроэлектроника». Каких нововведений и новшеств Вы ждёте от мероприятия?

А.А.: Я в этом году впервые вместе с Михаилом Георгиевичем выступаю в качестве модератора секции № 9. Поэтому, прежде всего, жду ярких докладов и интересных дискуссий не только в нашей секции, но и в остальных. Кроме того, всегда с интересом ждём докладов и круглых столов с представителями Минпромторга России, чтобы обсудить перспективы развития как нашего направления, так и отрасли в целом. В частности, сейчас проходит этап активных обсуждений проекта «Стратегии развития радиоэлектронной промышленности до 2030 года». Интересно будет обсудить основные её положения с коллегами.

М.Г.: Мы ожидаем расширения деловой программы и увеличения количества участников с их новыми инновационными проектами, что позволит сформировать устойчивый тренд в развитии микроэлектроники.